台积电和三星均已投入5nm工艺的量产 前者代工的产品包括苹果A14、M1、华为麒麟9000等 后者则包括Exynos 1080、骁龙888等。

其实从7nm开始 台积电和三星就开始引入EUV光刻 但过程层数较少。按照ASML（阿斯麦）的说法 迭代到5nm后 EUV的层数达到了10~14层 包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的3nm、2nm 对EUV的依赖将更甚。

根据最新数据显示 ASML在12月中完成了第100台EUV光刻机的出货。更加利好的消息是 业内预估ASML今年（2021年）的EUV光刻机产能将达到45~50台的规模。

毕竟 2019年ASML仅出货了26台 去年三季度后全年累计出货23台（全年预估35台） 可谓少得可怜。

另外 ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻机TWINSCAN NXE:3600D 生产效率提升18%、机器匹配套准精度改进为1.1nm 单台价格或高于老款的1.2亿欧元（约合9.5亿元人民币）。 责任编辑:pj